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《真空科学与技术学报杂志》注重性、学术性，努力做到风格清新、雅俗共赏。创刊于1981年，经新闻总署批准公开发行的专业性学术期刊，CN:11-5177/TB。创刊以来一直是各种工业信息交流的重要平台。
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综述评述 研究快报 研究论文
[1]参考文献：参考文献以作者亲自阅读过的近5 年文献为主，一般不少于15 条，文献按顺序编码制著录。
[2]摘要应在200字以内，要求文字通顺、简练，反映论文的主要观点。用第三人称叙述，不用“本文”、“作者”等为主语，可用“文章”等。
[3]署名应限于参加研究工作并可解答论文有关问题者，所有作者均须注明所在单位、城市及邮编(中英文均须全称)。
[4]作者应严格遵守国家保密法规的有关规定，文章凡涉密的内容请自行删除。
[5]文章标题：主标题一般不超过20个汉字，必要时可加副标题，用加粗的宋体小2号字。
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 溅射 | 429 | 巴德纯；庄大明；张弓；王德苗；李德军 |
| 磁控 | 381 | 庄大明；张弓；巴德纯；王德苗；李德军 |
| 磁控溅射 | 363 | 庄大明；张弓；巴德纯；王德苗；李德军 |
| 真空 | 248 | 戴永年；杨斌；刘大春；徐宝强；陈秀敏 |
| 等离子体 | 223 | 陈强；辛煜；王世庆；方志；田修波 |
| 纳米 | 194 | 郭太良；杨尊先；李长生；唐华；李德军 |
| 合金 | 181 | 杨斌；戴永年；刘大春；董闯；李廷举 |
| 光学 | 128 | 韩高荣；熊玉卿；巴德纯；王多书；董茂进 |
| 性能研究 | 103 | 郭太良；李长生；王君；唐华；黄楠 |
| 值模拟 | 101 | 王晓冬；何丽娟；李得天；田宝云；杜亚威 |
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立方结构PbSe薄膜在六角硒化镉单晶(0001)表面的外延生长研究 潘棋; 王健; 任羿烜; 范旭东; 程红娟; 刘兴钊
SiC陶瓷真空钎焊接头的组织及性能分析 祝鑫; 石浩江; 赵毅; 张瑞谦; 商佳程; 李鸣; 颜家振
甘油环境下不同涂层配副摩擦力矩的对比研究 郭武明; 孙东; 蒲吉斌; 毛春龙; 王海新
预溅射时长对TiN镀层成膜情况的影响研究 钟利; 陈美艳; 沈丽如
电磁场对阳极层霍尔推力器电离效率的影响 赵杰; 唐德礼; 李平川; 张帆; 聂军伟; 耿少飞
单双极性辉光等离子体处理有机高分子材料 但敏; 李建; 李明久; 王新超; 董思成; 金凡亚
抽拉速率对车用Mg-12.85Gd-1.25Zn-0.45Y镁合金的定向凝固组织演化的影响 朱镜瑾; 刘灵歌
超声温度对电机转子用Al-12%Si合金凝固组织及性能的影响 齐冠然; 郭正恩
多孔石墨烯海绵边缘场发射特性研究 郭亚杰; 狄云松; 计吉焘; 张晓兵; 雷威; 郭新立
该期刊创刊于1981年，出版地方是北京，先后获得中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库（CJFD）、中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊、中国科技期刊优秀期刊、北大图书馆收录期刊、等荣誉，是一本有一定影响力的学术期刊。
该期刊国际刊号：1672-7126，国内刊号：11-5177/TB。相关信息可以在国家新闻出版总署网站上查询。如果您还有疑问，可以联系客服，了解更多详情。
影响因子现已成为国际上通用的期刊评价指标，它不仅是一种测度期刊有用性和显示度的指标，而且也是测度期刊的学术水平，乃至论文质量的重要指标。该期刊影响因子为0.53，复合影响因子为0.43。
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